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晶圓組裝檢測設備應用案例

晶圓組裝檢測設備應用案例

    所屬行業(yè)：半導體行業(yè)
    設備名稱：晶圓組裝檢測設備
    行業(yè)應用：晶圓的封裝
    使用環(huán)境：常溫車間
    結構:多動子的結構
    配置說明：CFB065系列電機、RSF編碼器、THK導軌、高創(chuàng)驅動器。
    方案特點：多動子的設計理念實現(xiàn)獨立運動控制，提高了生產(chǎn)效率，對應的也節(jié)省了設備空間；采用直線電機非接觸的結構形式滿足對于無塵環(huán)境的需求；光柵補償高精度結構滿足視覺對于運動的精準性要求，提高設備生產(chǎn)的良率。
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